聚酰亚胺光刻胶
- 成果编号
- 40902
- 完成单位
- 中国科学院兰州化学物理研究所
- 完成时间
- 未填写
- 成熟程度
- 试生产阶段
- 价格
- 面议
- 服务产业领域
- 新材料
- 单位类别
- 中国科学院系统院所
| 科技计划 | 成果形式 |
|---|---|
| 新材料 | |
| 合作方式 | 参加活动 |
技术开发 |
|
| 专利情况 | |
未申请专利 |
| 综合介绍 |
|---|
研制的聚酰亚胺光刻胶光刻后光刻线尺寸与掩膜线尺寸相切合，且边界清晰，光刻过程没有发生热聚合，工艺条件与光敏聚酰亚胺相对匹配。光刻工艺还待进一步优化选择，包括前后烘烤时间和温度，曝光光强和时间等条件显影液极性还需要调节，还需要进一步研制与光敏聚酰亚胺完全匹配的显影体系。光刻后不留底膜，薄膜厚度小于100 um，光刻后上下口宽度差不超过线宽的1/5。 |
| 创新要点 |
| 技术指标 |
| 其他说明 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
